| شفرة# | 521-420E |
|---|---|
| طاولة عمل رخامية | (270*350)مم |
| طاولة عمل زجاجية | (142*242)مم |
| حركة المحور X/Y | (200*100) ملم |
| السفر على المحور Z | السفر الفعال 200 مم |
| شفرة# | 522-180هـ |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (400 * 300) ملم |
| السفر على المحور Z | 200ملم |
| محور X/Y/Z مقياس خطي | 0.1um |
| دقة المحور XY | ≤1.8+ لتر/200(ميكرومتر) |