| شفرة# | 512-400 |
|---|---|
| حجم مرحلة العمل | 455×126 ملم |
| سفر مرحلة العمل | 300x150 ملم |
| التركيز | 120 ملم |
| دقة | ≤3 + L / 200 (أم) |
| شفرة# | 512-400 |
|---|---|
| حجم مرحلة العمل | 455×126 ملم |
| سفر مرحلة العمل | 300x150 ملم |
| التركيز | 120 ملم |
| دقة | ≤3 + L / 200 (أم) |
| شفرة# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحلة العمل | 355x125mm |
| X/Y- المحور السفر | 200x120mm |
| محور z | 110 ملم |
| دقة القياس | ≤3+l/200um |
| شفرة# | 511-410 |
|---|---|
| حجم المسرح المعدني | 308×408 ملم |
| حجم المرحلة الزجاجية | 198×306 ملم |
| نطاق السفر على المسرح | 200×100ملم |
| البعد المنتج | 1003×617×1309 ملم |
| شفرة# | 525-020P |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (179.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (150*100) مم |
| المقاييس الخطية X/Y | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 511-330 |
|---|---|
| حجم المسرح المعدني | 258×308 ملم |
| حجم المرحلة الزجاجية | 148×206ملم |
| نطاق السفر على المسرح | 150×100 ملم |
| البعد المنتج | 988×563×1157 ملم |
| شفرة# | 510-340 |
|---|---|
| حجم شاشة LCD | 115 مم×85 مم |
| دقة شاشة LCD | 640*480 |
| محور العرض | 3 محاور (X، Y، Z/Q) |
| قرار المقياس الخطي | 0.1 ميكرومتر، 0.2 ميكرومتر، 0.5 ميكرومتر، 1 ميكرومتر، 2 ميكرومتر، 5 ميكرومتر |
| شفرة# | 525-020GP |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (505*350) مم |
| مرحلة زجاجية | (356*248) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (300*200) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 525-020ep |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (390*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (229.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (200*100) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحلة العمل | 355x125mm |
| X/Y- المحور السفر | 200x120mm |
| محور z | 110 ملم |
| دقة القياس | ≤3+l/200um |
