| شفرة# | 502-120ح |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (400 * 300) ملم |
| البعد (العرض × العمق × الارتفاع) | (1337*840*1664)مم |
| وزن | 600 كجم |
| السفر على المحور Z | 200 ملم |
| شفرة# | 520-020 |
|---|---|
| منضدة | (245×180) ملم |
| طاولة عمل زجاجية | (130×130) ملم |
| حركة المحور X/Y | (100*100)مم |
| دقة المحور X/Y | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 525-120H |
|---|---|
| طاولة عمل رخامية | (605*450)مم |
| طاولة عمل زجاجية | (456*348)مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (400 * 300) ملم |
| Z Travel Axis Travel | 200 ملم |
| شفرة# | 525-020د |
|---|---|
| طاولة عمل من الجرانيت | (310*220)مم |
| طاولة عمل زجاجية | (179.5*129.5)مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (150*100)مم |
| Z Travel Axis Travel | 100 ملم |
| شفرة# | 525-320H |
|---|---|
| طاولة عمل رخامية | (605*450)مم |
| طاولة عمل زجاجية | (456*348)مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (400 * 300) ملم |
| Z Travel Axis Travel | 200 ملم |
| شفرة# | 525-020د |
|---|---|
| طاولة عمل من الجرانيت | (310*220)مم |
| طاولة عمل زجاجية | (179.5*129.5)مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (150*100)مم |
| Z Travel Axis Travel | 100 ملم |
| شفرة# | 500-080 |
|---|---|
| عدسة | عدسة مزدوجة مركزية 0.088X |
| مسافة العمل | 120 ملم |
| مجال واسع | قطر 116 مم (94 × 76) |
| دقة القياس | ± 4 ميكرومتر |
| شفرة# | 523-220هـ |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (400 * 300) ملم |
| السفر على المحور Z | 200 ملم |
| محور X/Y/Z مقياس خطي | الدقة: 0.1 ميكرومتر |
| دقة المحور XY | ≤2.5+ لتر/200(ميكرومتر) |
| فيميا322A | 524-220ج |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (300*200) مم |
| السفر على المحور Z | 200 ملم |
| مقياس خطي ثلاثي المحاور X/Y/Z (مم) | القرار: 0.5um |
| التكرار | 2um |
| فيميا322A | 524-120ج |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (300*200) مم |
| السفر على المحور Z | 200 ملم |
| مقياس خطي ثلاثي المحاور X/Y/Z (مم) | القرار: 0.5um |
| التكرار | 2um |
