| شفرة# | 525-020dp |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (179.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (150*100) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 525-020ep |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (390*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (229.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (200*100) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 821-170-1005 |
|---|---|
| موضوعي | 10 × ، 40 × |
| إدخال البيانات | تلقائي |
| برج | تلقائي |
| Max. الأعلى. Height of Specimen ارتفاع العينة | 170 ملم |
| شفرة# | 823-170-2005 |
|---|---|
| نظام التحميل | تلقائي |
| مرحلة XY الآلية | محرك خطوة صغير بمقاس L:180*W:140 مم |
| ضربة المرحلة XY | 50x50mm |
| الحد الأدنى للخطوة | 0.625 ميكرومتر |
| شفرة# | أوتوفيكي ZHV-WH5010 |
|---|---|
| موضوعي | 10×، 20× |
| إدخال البيانات | تلقائي |
| برج | تلقائي |
| Max. الأعلى. Height of Specimen ارتفاع العينة | 170 ملم |
| شفرة# | 525-020GP |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (505*350) مم |
| مرحلة زجاجية | (356*248) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (300*200) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 823-170-1010 |
|---|---|
| طريقة الإدخال الرقمية | آلي |
| عدسة ومفتاح المسنن | برج آلي |
| يسكن الوقت | 1~60 قابل للتعديل |
| التحكم في التحميل | تلقائي |