| شفرة# | 525-020P |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) ملم |
| المرحلة الزجاجية | (179.5*129.5) ملم |
| انتقال المحور X / Y. | (150*100) ملم |
| المقاييس الخطية X/Y | الدقة: 0.5 ميكرومتر |
| شفرة# | 525-020P |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) ملم |
| المرحلة الزجاجية | (179.5*129.5) ملم |
| انتقال المحور X / Y. | (150*100) ملم |
| المقاييس الخطية X/Y | الدقة: 0.5 ميكرومتر |
| شفرة# | 512-350 |
|---|---|
| حجم مرحلة العمل | 355×126 ملم |
| السفر في مرحلة العمل | 200×100ملم |
| التركيز | 90 ملم |
| الدقة | ≤3 + L / 200 (أم) |
