| شفرة# | 525-020dp |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (179.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (150*100) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 525-020P |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (179.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (150*100) مم |
| المقاييس الخطية X/Y | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 512-350 |
|---|---|
| حجم مرحلة العمل | 355×126 ملم |
| سفر مرحلة العمل | 200×100ملم |
| التركيز | 90 ملم |
| دقة | ≤3 + L / 200 (أم) |
| شفرة# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحلة العمل | 355x125mm |
| X/Y- المحور السفر | 200x120mm |
| محور z | 110 ملم |
| دقة القياس | ≤3+l/200um |
| شفرة# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحلة العمل | 355x125mm |
| X/Y- المحور السفر | 200x120mm |
| محور z | 110 ملم |
| دقة القياس | ≤3+l/200um |