| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| شفرة# | 525-020P |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) ملم |
| المرحلة الزجاجية | (179.5*129.5) ملم |
| انتقال المحور X / Y. | (150*100) ملم |
| المقاييس الخطية X/Y | الدقة: 0.5 ميكرومتر |
| شفرة# | 512-350 |
|---|---|
| حجم مرحلة العمل | 355×126 ملم |
| السفر في مرحلة العمل | 200×100ملم |
| التركيز | 90 ملم |
| الدقة | ≤3 + L / 200 (أم) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |