| شفرة# | 525-020ep |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (390*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (229.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (200*100) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 525-020GP |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (505*350) مم |
| مرحلة زجاجية | (356*248) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (300*200) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 525-020dp |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (310*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (179.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (150*100) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |