| شفرة# | 521-320هـ |
|---|---|
| طاولة عمل رخامية | (608*470) ملم |
| طاولة عمل زجاجية | (456*348)مم |
| حركة المحور X/Y | (400 * 300) ملم |
| السفر على المحور Z | السفر الفعال 200 مم |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |