| شفرة# | 525-020ep |
|---|---|
| مرحلة الجرانيت | (390*220) مم |
| مرحلة زجاجية | (229.5*129.5) مم |
| X/Y Travel Axis Travel | (200*100) مم |
| المقاييس الخطية | القرار: 0.5um |
| شفرة# | 529-120g |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (300*200) مم |
| السفر على المحور Z | 200 ملم |
| مقياس خطي ثلاثي المحاور X/Y/Z (مم) | القرار: 0.5um |
| دقة المحور XY | ≤2.5+ لتر/200(ميكرومتر) |
| شفرة# | 502-120ج |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (300*200) مم |
| البعد (العرض × العمق × الارتفاع) | (1237*740*1664)مم |
| وزن | 380 كجم |
| السفر على المحور Z | 200 ملم |