| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| شفرة# | 502-120ج |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (300*200)مم |
| البعد (WxDxH) | (1237*740*1664)مم |
| الوزن | 380 كجم |
| السفر على المحور Z | 200ملم |
| شفرة# | 529-120g |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (300*200)مم |
| السفر على المحور Z | 200ملم |
| مقياس خطي ثلاثي المحاور X/Y/Z (مم) | الدقة: 0.5 ميكرومتر |
| دقة المحور XY | ≤2.5+ لتر/200(ميكرومتر) |