| شفرة# | 525-380 ألف |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (500*500) ملم |
| السفر على المحور Z | 300 ملم |
| مقياس خطي للمحور X/Y/Z | الدقة: 0.1 ميكرومتر |
| وضع التوجيه | قاطرة توجيه خطية دقة |
| شفرة# | 523-280N |
|---|---|
| حركة المحور X/Y | (1200*1000) ملم |
| السفر على المحور Z | 200ملم |
| محور X/Y/Z مقياس خطي | الدقة: 0.1 ميكرومتر |
| دقة المحور XY | ≤2.5+ لتر/200(ميكرومتر) |
